空氣中粒子計數(shù)器 (APC) 在監(jiān)測和維護(hù)空氣純度至關(guān)重要的環(huán)境(如潔凈室)的清潔度方面發(fā)揮著關(guān)鍵作用。APC 有兩種基本類型:便攜式和在線式(遠(yuǎn)程)。每種類型都有獨(dú)特的功能和應(yīng)用,使其適用于污染控制的各種場景。便攜式 APC 是獨(dú)立的裝置,配備了用于控制儀器的用戶界面或操作面板。這些設(shè)備包括一個內(nèi)置的取樣系統(tǒng),并且易于運(yùn)輸。用戶界面允許用戶建立樣品參數(shù)、收集數(shù)據(jù),并在必要時將這些數(shù)據(jù)傳輸?shù)酵獠肯到y(tǒng)??諝獠蓸酉到y(tǒng),無論是真空泵還是鼓風(fēng)機(jī),都必須提供經(jīng)過充分過濾的排氣系統(tǒng),以防止污染測試環(huán)境。便攜式 APC 可以使用內(nèi)部電池或通過交流電源插座運(yùn)行。
便攜式 APC 的類型
便攜式 APC 的區(qū)別在于其氣流采樣率,其以每分鐘體積、每分鐘立方英尺 (CFM) 或升每分鐘 (LPM) 為單位報告。主要類型包括:手持式 APC:這些 APC 的樣品流速低,為 0.1 CFM (2.83 LPM) 或更低。它們結(jié)構(gòu)緊湊,便于快速檢查。
標(biāo)準(zhǔn)流量便攜式 APC (ApexZ3):樣品流速為 1.0 CFM (28.3 LPM),是一般潔凈室操作中最常用的類型。高流量便攜式 APC (ApexZ50):這些 APC 的樣品流速大于 1.0 CFM (28.3 LPM)。常見的高流速包括 50 LPM、2.0 CFM、75 LPM 和 100 LPM。這些高流速儀器在潔凈室認(rèn)證測試中非常有用,因為它們可以快速對大量空氣進(jìn)行采樣。例如,高流速 APC 可以在 A 級環(huán)境中對一立方米的空氣進(jìn)行采樣,比標(biāo)準(zhǔn)流速 APC 快得多。
定點遠(yuǎn)程機(jī)載粒子計數(shù)器(在線式計數(shù)器)與便攜式 APC 相比,定點遠(yuǎn)程 APC 體積更小、占用空間更小、更堅固,可以連接到設(shè)備、潔凈室墻壁或運(yùn)輸設(shè)備上。它們非常適合監(jiān)控在制造過程中產(chǎn)品完整性可能面臨風(fēng)險的關(guān)鍵過程位置。
APC 的樣品流速通常為 0.1 CFM (2.83 LPM) 或 1.0 CFM (28.3 LPM),后者是大多數(shù)應(yīng)用的首選。這些設(shè)備可以記錄數(shù)據(jù)或?qū)⑵鋫鬏數(shù)酵獠肯到y(tǒng),例如建筑管理系統(tǒng) (BMS)、非活性顆粒物監(jiān)測系統(tǒng) (NVPMS) 或設(shè)施監(jiān)測系統(tǒng) (FMS)。
遠(yuǎn)程 APC 的類型:有兩種主要類型的遠(yuǎn)程 APC:帶有內(nèi)置泵的 APC 和沒有內(nèi)置泵的 APC。
帶有內(nèi)置泵的遠(yuǎn)程 APC:這些裝置具有通過泵或鼓風(fēng)機(jī)的內(nèi)置樣品處理系統(tǒng),以及對從該裝置排出的所有空氣進(jìn)行必要的過濾。它們比沒有泵的裝置更大、更響亮、更昂貴,但不需要設(shè)施范圍的真空泵和分配系統(tǒng)。
不帶泵的遠(yuǎn)程 APC:這些裝置需要外部真空源,比帶內(nèi)置泵的裝置更小、更安靜、更便宜。它們的服務(wù)成本較低,因為無需維護(hù)過濾器或小型泵。但是,支持設(shè)施范圍的真空泵和分配系統(tǒng)需要定期維護(hù),并且必須為 APC 提供足夠的流量和真空度才能正常運(yùn)行。一些遠(yuǎn)程 APC 具有內(nèi)置流量監(jiān)控功能,以確保正確的空氣樣本流量。
結(jié)論
了解不同類型的空氣中粒子計數(shù)器及其具體應(yīng)用對于維持潔凈室和其他敏感環(huán)境中的污染控制至關(guān)重要。便攜式 APC 為各種應(yīng)用提供靈活性和易用性,而定點遠(yuǎn)程 APC 則提供強(qiáng)大、連續(xù)的監(jiān)控解決方案。通過選擇適當(dāng)類型的 APC,設(shè)施可以確保它們符合嚴(yán)格的清潔標(biāo)準(zhǔn)并保持無污染的環(huán)境。